电感测微仪是一种能够对微小尺寸变化进行精密测量的仪器。芯明天e75系列即是一款接触式lvdt电感测微仪,通过电感测头探测外部的位移形变,测量范围为0~1mm,精度优于100nm。
特点
• 测量范围0~1mm • 触屏显示 • 分辨率0.01μm • 接触式测量 • 触屏或上位机软件
组成
芯明天e75系列电感测微仪由两部分组成,分别为测头及主体控制盒。
1)测头
e75系列电感测微仪的测头是接触式,即与待测物相接触,通过待测物移动推动测头回缩,或测头因内部弹力,随被测物移动而伸长。
测头通过测试支架进行固定,并与被测物间进行接触,其中测头具有0.15mm的预行程,适于安装中一定的预紧压缩。测头的伸缩长度变化,会改变内部线圈与衔铁间距离,引起线圈内电感量发生变化。
2)控制盒主体
该控制盒主体为测头提供激励电压信号,采集测头中线圈的电感量变化引起的直流电压信号变化,并将其放大,再经过控制盒主体的处理,进行传输、显示。
e75控制盒主体
触屏显示
e75系列电感测微仪上配有触屏显示,可通过它进行直观数据显示。
面板介绍
(1)电源开关
(2)24v dc供电
(3)rs-458通信接口
(4)lcd、rs-485切换开关
技术参数
型号 e75.lvdt-h
测量范围 0~1mm
通道数 单通道
分辨率 0.01μm
显示更新频率 10 次 /s
屏幕类型 触摸屏
测头类型 数字回弹式
传感器读数速率 200个读数/s
模拟量输出 电压或4~20ma,用户可选
操作温度 5~50℃
存储温度 -20~50℃
精度 ( 读数的百分比 ) 0.05%或0.1μm,取大者
重复性 ( 最坏的情况下 ) 0.15μm
重复性 ( 典型 ) 0.05μm
预行程 0.15mm
后行程 0.35mm
弹簧驱动(中间位置测力) 0.70n
温飘系数 0.01%fs/ºc
探头寿命(运行次数) 1亿次
探头壳体材质 不锈钢
测头材质 碳化钨
计算机接口 rs-232、rs-485
功能 数据采集、存储,触发等
重量(g) 1285
典型应用
e75系列电感测微仪的应用非常广泛,可广泛应用于精密机械制造业、集成电路制造、科研、国防以及计量等领域。例如,长度(深度、高度、厚度、直径、锥度等)测量、振动测量、精密定位系统、微位移检测、微操作机器人位移检测、光纤对接等需要微位移检测的领域。
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