倒装晶片装配对板支撑及定位系统的要求

有些倒装晶片应用在柔性电路板或薄型电路板上,这时候对基板的平整支撑非常关键。解决方案往往会用到载 板和真空吸附系统,以形成一个平整的支撑及的定位系统,满足以下要求:
①基板z方向的支撑控制,支撑高度编程调节;
②提供客户化的板支撑界面;
③完整的真空发生器;
④可应用非标准及标准载板。
如图1和图2所示。
图1 特殊板支撑系统(1) 图2 特殊板支撑系统(2)

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