XD602大行程压电纳米定位台，应用于精密定位
xd602系列压电纳米定位台是xyz三维运动压电平台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有分辨率高、行程大等特点，行程范围可达200μm/轴，广泛应用于精密定位、微操作等领域。
应用：
1纳米定位
2精密定位
3微操作/微加工
大行程、高可靠性、高稳定性
xd602为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台，可以实现每轴200μm的位移行程，优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点。闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（sgs），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与e70系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。
技术参数
型号：xd602运动方向：x/y/z行程范围@120v：160µm行程范围@150v：200µm传感器：sgs开环分辨率：8nm闭环线性度：0.2%f.s.闭环重复定位精度：0.1%f.s.空载谐频：270hz谐振频率@100g：110hz50%行程空载使用频率：20hz台体材料：铝工作温度范围：0~50℃承载能力：300g
lw
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