园芯微电子首批晶圆下线，提升苏州工业园区MEMS产业支撑能力
近日，苏州园芯微电子技术有限公司（以下简称“园芯微电子”）举行fablite首批晶圆下线仪式暨首片晶圆揭幕活动。
2021年4月，园芯微电子落户苏州工业园区，致力于mems新工艺研发创新，构建mems传感器核心工艺制造产线，实现mems传感器芯片“fablite”运营模式。该公司由敏芯股份与园丰资本、中新创投、纳米公司、苏州顺融投资管理有限公司共同投资设立。
苏州工业园区科技创新委员会指出，园芯微电子首批晶圆的成功下线，标志着其发展迈上新台阶，规模化后也将极大提升园区mems产业支撑能力。
据悉，苏州工业园区围绕mems产业，打造了纳米加工平台、mems中试平台、测试分析平台、微系统平台封装等产业链关键支撑平台。
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苏州工业园区科技创新委员会指出，园芯微电子首批晶圆的成功下线，标志着其发展迈上新台阶，规模化后也将极大提升园区mems产业支撑能力。
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