Lambda Physik的新型激光管设计用于工作在157nm的氟激光器
佛罗里达州fort lauderdale - lambda physik推出了一种专为氟设计的新型激光管(f 2 )157nm激光操作。据该公司称，duratube基于该公司的novatube技术，这是一种金属/陶瓷设计，几乎可以消除部件腐蚀和气体污染。
duratube针对气体循环几何和部件进行了优化，增加了f 的气体寿命2 操作。例如，lpf激光器的气体寿命已经以能量恒定模式测量，超过2000万个脉冲，lambda physik声称。
lambda physik表示，f 2 激光技术的这一突破提供了最高的市售气体寿命和可靠性，无需低温气体净化。所有lambda physik f 2 激光器，包括lpf，optex，novaline f600和novaline 1000系列，都配备了新的duratube。
duratube装配有特殊的谐振镜配件(除optex外，便于镜像交换，并结合高度隔离的光路。所有lpf和novaline f2激光器都标配vuv适配器，用于完全隔离光束路径和能量监视器。
气体寿命的增加与能量稳定相结合，对于157 nm的f 2 激光加工具有显着的优势，这需要最大的性能，可靠性和效率。 lambda physik的f 2 激光器针对157 nm的光学测试或深uv光刻。优化的duratube性能使激光系统的正常运行时间显着延长，从而降低了用户的运行成本。
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