白光干涉仪和激光共聚焦显微镜的区别
对于现代愈发复杂的工艺检测，诸如半导体、电子封装及光学加工等产业中，由于表面微观轮廓结构的准确性决定着产品的功能和效能，所以不管是抛光表面还是粗糙表面的工件（诸如半导体硅片及器件、薄膜厚度、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要测量断差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、体积、线宽等。
同为微纳米级表面光学分析仪器，白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，适用范围广，可测多种类型样品的表面微细结构。但白光干涉仪与共聚焦显微镜还是有着不同之处。
1、测量原理白光干涉仪是以白光干涉技术为原理，实现器件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器；
supervieww1白光干涉仪
激光共聚焦显微镜是以共聚焦技术为原理，实现器件微纳米级表面形貌测量的光学检测仪。
vt6000激光共聚焦显微镜共焦显微镜光路示意图
2、应用白光干涉仪多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；（supervieww1白光干涉仪测量行程有140*100*100㎜，对于测量物体整个区域表面情况，还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，就可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。）
超光滑透镜测量
自动拼接功能
大尺寸样品拼接测量
而共聚焦显微镜更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。
快充时代下的氮化镓方案，英飞凌CoolGaN IPS面向30W至500W应用
在开发生命周期的早期降低安全风险
电阻器在电动机控制器中的应用
三菱飞机计划将开发符合美国需求的70座新机型
谈谈人工智能的潜在风险
白光干涉仪和激光共聚焦显微镜的区别
如果贴片电感坏了有什么现象你知道吗
全球移动供应商协会揭示2020年关键5G里程碑
Samtec基于Tiger Eye触点系统打造性能优异的耐用型连接器产品
联创光电研制出世界首台兆瓦级高温超导直流感应加热设备
美光科技2022第四财季营收、净利双下降，2023财年资本支出将同比下降30%以上
比亚迪半导体功率器件和传感控制器件研发及产业化项目一期竣工
AI赋能保险，虹软科技助推金融行业智变
亚马逊加速机器人开发流程 2019年将推家用机器人
围绕特斯拉4680电池订单争夺，LG能源与松下展开新的竞争
似春晚的oppor11发布会精彩回顾:前后2000W,拍照更清晰,oppor11售价正式公布,2999元七色可选,还不抓紧时间预约?
详解小米多看电纸书Pro值不值得买？
IBM T30 的笔记本电脑不开机维修全过程(维修纪实)
李楠自爆：魅蓝新品4月发布，注重外观设计
基于MicroZed的五轴自动化机械臂Dexter
同为微纳米级表面光学分析仪器，白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，适用范围广，可测多种类型样品的表面微细结构。但白光干涉仪与共聚焦显微镜还是有着不同之处。
1、测量原理白光干涉仪是以白光干涉技术为原理，实现器件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器；
supervieww1白光干涉仪
激光共聚焦显微镜是以共聚焦技术为原理，实现器件微纳米级表面形貌测量的光学检测仪。
vt6000激光共聚焦显微镜共焦显微镜光路示意图
2、应用白光干涉仪多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；（supervieww1白光干涉仪测量行程有140*100*100㎜，对于测量物体整个区域表面情况，还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，就可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。）
超光滑透镜测量
自动拼接功能
大尺寸样品拼接测量
而共聚焦显微镜更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。
快充时代下的氮化镓方案，英飞凌CoolGaN IPS面向30W至500W应用
在开发生命周期的早期降低安全风险
电阻器在电动机控制器中的应用
三菱飞机计划将开发符合美国需求的70座新机型
谈谈人工智能的潜在风险
白光干涉仪和激光共聚焦显微镜的区别
如果贴片电感坏了有什么现象你知道吗
全球移动供应商协会揭示2020年关键5G里程碑
Samtec基于Tiger Eye触点系统打造性能优异的耐用型连接器产品
联创光电研制出世界首台兆瓦级高温超导直流感应加热设备
美光科技2022第四财季营收、净利双下降，2023财年资本支出将同比下降30%以上
比亚迪半导体功率器件和传感控制器件研发及产业化项目一期竣工
AI赋能保险，虹软科技助推金融行业智变
亚马逊加速机器人开发流程 2019年将推家用机器人
围绕特斯拉4680电池订单争夺，LG能源与松下展开新的竞争
似春晚的oppor11发布会精彩回顾:前后2000W,拍照更清晰,oppor11售价正式公布,2999元七色可选,还不抓紧时间预约?
详解小米多看电纸书Pro值不值得买？
IBM T30 的笔记本电脑不开机维修全过程(维修纪实)
李楠自爆：魅蓝新品4月发布，注重外观设计
基于MicroZed的五轴自动化机械臂Dexter