GaN-on-Si技术助力降低LED及功率元件成本
比利时微电子研究中心（imec）与有机金属化学气相沉积（mocvd）制程设备供应商--威科（veeco）日前宣布，将共同投入于矽基氮化镓 （gan-on-si）基板研究计划，目的在于降低功率元件（power devices）和发光二极体（led）的制造成本。
威科资深副总裁暨总经理jim jenson表示，gan-on-si技术可用来降低led及功率元件的成本，将有助固态照明、电源供应器，甚至是太阳能板及电动车的发展。威科自 2011年起即与imec戮力于gan-on-si的研究与发展计划，双方都致力于降低成本及维持gan-on-si元件的效能，此项合作计划对双方而言可谓互惠互利。
gan-on-si曾一度被期许为led基板技术的明日之星，因其具备快速量产及低成本优势，可望加速led照明的普及；但gan-on-si的技术挑战与良率问题，让许多研发厂商颇为踌躇，导致技术发展牛步，亟待各家厂商共思解决之道，以突破gan-on-si基板跃升市场主流的瓶颈。
因此imec聚集许多业者共同参与gan-on-si研发计划，希望研发出200毫米（mm）矽基板的世界级的氮化镓（gan）led及功率元件，并使其可兼容于200毫米互补式金属氧化物半导体（cmos）制程。各家厂商藉由与imec联手，共享成本、人才及智慧财产权，可望加速研发进程及将此项先进技术推进到市场的脚步。
imec首席科学家barun dutta表示，imec与威科的目标是建立完整的制程设备，以帮助gan-on-si成为更具竞争力的技术，而威科的mocvd设备具有高生产力，且能产出一定品质的磊晶，将有助gan-on-si基板在功率元件和led应用的研发更快达到新里程碑。
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