问题:什么是dpt中的odd cycle问题?它会有什么问题?该如何解决?
一层metal由两层mask来成型,每一层mask上相邻shape的最小间距即为dpt spacing。
如果在一个版图上存在着奇数个shape围成的圈,且相邻的shape之间的距离小于dpt spacing(这就意味着它们需要涂上不同的color),那么就会形成dpt odd cycle问题。
这种问题会造成它们无法被合理涂上两种颜色,也就是没办法分到两个mask上而不引起drc。
右下角是一种涂色方案,可以看到,shape b和c的颜色相同,但是它们的距离小于dpt spacing的要求,因此不能被分配到相同的mask上。由于存在奇数个shape,因此无论怎么去涂色,在不改变layout的情况下,总会存在冲突的地方。
解决方案: 在任何一个地方,将两个相邻的shape距离增大到dpt spacing(或者更大)就可以修复这种问题,因为这样原来没办法分到两个mask上的shape(比如上图中的b和c)就可以被分到两个mask上了。
如下图所示:
对于dpt工艺的绕线,允许多个shape彼此之间的距离小于dpt spacing的要求,只要它们没有产生odd cycle问题就可以了,这个是与普通工艺的绕线的一个很大的不同之处。
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