白光干涉仪的测量操作方法
supervieww1白光干涉仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2d，3d表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。
supervieww1白光干涉仪
轮廓分析操作步骤：
1.将样品放置在载物台镜头下方；
2.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
3.使用操纵杆调节z轴，找到样品表面干涉条纹；
4.微调xy轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹；
5.完成扫描设置和命名等操作；
6.点击开始测量（进入3d视图窗口旋转调整观察一会）；
7.台阶样品分析第一步：校平；
8.进入数据处理界面，点击“校平”图标，和平面样品不同，台阶样品需手动选取基准区域，选好基准区域后，先“全部排除”再“包括”；
9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致，可多选择几个区域作为基准面进行校平；
10.台阶高度测量：线台阶高度测量
11.进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据；
12.在右侧点击“手动检测”，根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值；
13.台阶高度测量：线台阶高度测量
14.进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，使用合适方向的剖面线，提取目标位置的剖面轮廓曲线；
15.进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，由于所测为中间凹槽到两侧平面高度，因此点击右侧工具栏，测量条对数选择“2”，将红色基准线对放置到凹槽平面中间，两对测量线对分别放置在两侧平面，即可在数据缆读取台阶高度数据。
粗糙度分析操作步骤：
1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2. 将夹具放置在载物台上；
3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5. 完成扫描设置和命名等操作；
6. 点击开始测量（进入3d视图窗口旋转调整观察一会）；
7. 进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11. 进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度ra数据。
日常维护：
1、supervieww1白光干涉仪应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时，应托住底座，以防导轨变形。
2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和y醚混合液轻拭。
3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用t5精密仪表油润滑。
4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。
5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。
6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。
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1.将样品放置在载物台镜头下方；
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4.微调xy轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹；
5.完成扫描设置和命名等操作；
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8.进入数据处理界面，点击“校平”图标，和平面样品不同，台阶样品需手动选取基准区域，选好基准区域后，先“全部排除”再“包括”；
9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致，可多选择几个区域作为基准面进行校平；
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11.进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据；
12.在右侧点击“手动检测”，根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值；
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14.进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，使用合适方向的剖面线，提取目标位置的剖面轮廓曲线；
15.进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，由于所测为中间凹槽到两侧平面高度，因此点击右侧工具栏，测量条对数选择“2”，将红色基准线对放置到凹槽平面中间，两对测量线对分别放置在两侧平面，即可在数据缆读取台阶高度数据。
粗糙度分析操作步骤：
1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2. 将夹具放置在载物台上；
3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5. 完成扫描设置和命名等操作；
6. 点击开始测量（进入3d视图窗口旋转调整观察一会）；
7. 进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11. 进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度ra数据。
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2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和y醚混合液轻拭。
3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用t5精密仪表油润滑。
4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。
5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。
6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。
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