关于多晶硅生产工艺流程的简单介绍
多晶硅生产工艺流程,多晶硅最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化（有的采用氯氢化），精馏，还原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。
主要反应包括：si+hcl---sihcl3+h2（三氯氢硅合成）;sicl4+h2---sihcl3+hcl（热氢化）;sihcl3+h2---sicl4+hcl+si（还原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。
西门子改良法生产工艺如下：
这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量好、采用综合利用技术，对环境不产生污染，具有明显的竞争优势。改良西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有：氯化氢合成炉，三氯氢硅沸腾床加压合成炉，三氯氢硅水解凝胶处理系统，三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统，硅芯炉，节电还原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置，还原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪器，控制仪表，热能转换站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂房等。
（1）石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅，
其化学反应sio2+c→si+co2↑
（2）为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(hcl)与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅(sihcl3)。
其化学反应si+hcl→sihcl3+h2↑
反应温度为300度，该反应是放热的。同时形成气态混合物(н2,нс1,siнс13,sic14,si)。
（3）第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，需要分解:过滤硅粉，冷凝siнс13,sic14，而气态н2,нс1返回到反应中或排放到大气中。然后分解冷凝物siнс13,sic14，净化三氯氢硅（多级精馏）。
（4）净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的sihcl3在h2气氛中还原沉积而生成多晶硅。
其化学反应sihcl3+h2→si+hcl。
多晶硅的反应容器为密封的，用电加热硅池硅棒（直径5-10毫米，长度1.5-2米，数量80根），在1050-1100度在棒上生长多晶硅，直径可达到150-200毫米。
这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应，并生成多晶硅。剩余部分同н2,нс1,siнс13,sic14从反应容器中分离。这些混合物进行低温分离，或再利用，或返回到整个反应中。气态混合物的分离是复杂的、耗能量大的，从某种程度上决定了多晶硅的成本和该3工艺的竞争力。
fqj
互联网电视渐入主流 专家澄清3大心理误区
区块链可解决开放银行与客户数据隐私的问题吗
全球量子通信网络：在立方卫星轨道上产生量子纠缠源
IBM的物联网解决方案
RAM,RAM工作原理是什么?
关于多晶硅生产工艺流程的简单介绍
多线路板设计中的接地连接和高速信号
Q1季度全球笔记本电脑出货量仅下滑2％，Q2季度将面临更大挑战
Microchip CEO博文《AI将如何重新定义数据中心？》
Blaize发布人工智能硬/软件产品，旨在克服AI应用程序未满足的要求
熔断器的作用与选用原则
基于Openwrt路由器的远程监控平台的搭建
智能传感器给产品带来的优势
分析机构纷降预测,2012年全球芯片或现衰退
一个产品级MCU菜单框架设计
关于特来电充电网两级安全防护体系的详细介绍
ARM嵌入式开发板汽车节能控制系统
gps追踪器组成与硬件结构
软通动力"工业智能：AI驱动制造业数字化深入变革"分论坛圆满落幕
电动汽车的发展问题以及现处阶段的分析
主要反应包括：si+hcl---sihcl3+h2（三氯氢硅合成）;sicl4+h2---sihcl3+hcl（热氢化）;sihcl3+h2---sicl4+hcl+si（还原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。
西门子改良法生产工艺如下：
这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量好、采用综合利用技术，对环境不产生污染，具有明显的竞争优势。改良西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有：氯化氢合成炉，三氯氢硅沸腾床加压合成炉，三氯氢硅水解凝胶处理系统，三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统，硅芯炉，节电还原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置，还原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪器，控制仪表，热能转换站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂房等。
（1）石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅，
其化学反应sio2+c→si+co2↑
（2）为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(hcl)与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅(sihcl3)。
其化学反应si+hcl→sihcl3+h2↑
反应温度为300度，该反应是放热的。同时形成气态混合物(н2,нс1,siнс13,sic14,si)。
（3）第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，需要分解:过滤硅粉，冷凝siнс13,sic14，而气态н2,нс1返回到反应中或排放到大气中。然后分解冷凝物siнс13,sic14，净化三氯氢硅（多级精馏）。
（4）净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的sihcl3在h2气氛中还原沉积而生成多晶硅。
其化学反应sihcl3+h2→si+hcl。
多晶硅的反应容器为密封的，用电加热硅池硅棒（直径5-10毫米，长度1.5-2米，数量80根），在1050-1100度在棒上生长多晶硅，直径可达到150-200毫米。
这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应，并生成多晶硅。剩余部分同н2,нс1,siнс13,sic14从反应容器中分离。这些混合物进行低温分离，或再利用，或返回到整个反应中。气态混合物的分离是复杂的、耗能量大的，从某种程度上决定了多晶硅的成本和该3工艺的竞争力。
fqj
互联网电视渐入主流 专家澄清3大心理误区
区块链可解决开放银行与客户数据隐私的问题吗
全球量子通信网络：在立方卫星轨道上产生量子纠缠源
IBM的物联网解决方案
RAM,RAM工作原理是什么?
关于多晶硅生产工艺流程的简单介绍
多线路板设计中的接地连接和高速信号
Q1季度全球笔记本电脑出货量仅下滑2％，Q2季度将面临更大挑战
Microchip CEO博文《AI将如何重新定义数据中心？》
Blaize发布人工智能硬/软件产品，旨在克服AI应用程序未满足的要求
熔断器的作用与选用原则
基于Openwrt路由器的远程监控平台的搭建
智能传感器给产品带来的优势
分析机构纷降预测,2012年全球芯片或现衰退
一个产品级MCU菜单框架设计
关于特来电充电网两级安全防护体系的详细介绍
ARM嵌入式开发板汽车节能控制系统
gps追踪器组成与硬件结构
软通动力"工业智能：AI驱动制造业数字化深入变革"分论坛圆满落幕
电动汽车的发展问题以及现处阶段的分析