芯片巨头英特尔和围绕ibm和意法半导体(st)的研究伙伴将分别在即将于12月在旧金山召开的国际电子器件会议(iedm)上报告其在领先的ic制造技术方面各自的进展。
各研究团队将展示finfet方法(英特尔称为三栅极)、完全耗尽绝缘体上硅(fdsoi)技术、以及在20nm及更精微节点上体平面工艺的进展。
英特尔将提交其用于soc应用的22nm finfet技术的论文。在同一会议上,由cea-leti、st、ibm、globalfoundries和瑞萨等公司专家组成的研究团队将提交报告,论述其在20nm及更精微节点的超薄框和体(utbb)fdsoi晶体管的多阈值电压策略。
st也将报告utbb工艺的转换能源效率,而ibm将描述一种22nm的soi工艺。同时,三星的研究人员将发表研究论文,介绍其体20nm平面hkmg工艺的可扩展性。
英特尔业已采用22nm finfet制造工艺技术生产其处理器。它将将其做法描述为一种cpu工艺,它还表示,该工艺还没有为实现最低功耗进行优化。英特尔还将提供其22nm三栅极soc工艺的工程细节,并讨论使用该办法,如何为soc应用搭建一个技术平台。
根据该论文的要点简介,这意味一系列高速、低待机功耗、高电压容限晶体管的实现,以及rf和混合信号处理能力的实现。
高速逻辑晶体管的亚阈值泄漏范围从100na/每微米到1na/每微米,而低功耗版本的泄漏则小于50pa/每微米。然而,该工艺保留了用于模拟电路和传统电路的1.8和3.3v晶体管。
根据该论文的要点简介,英特尔的22nm soc平台还包括碳掺杂氧化互连和三种不同类型的sram位单元,以提供密度、性能和低电压操作选项。
在12月11日的另一场会议上,由ibm、st、globalfoundries、瑞萨、soitec和cea-leti组成的团队撰写的报告将介绍被称为etsoi、用于超薄绝缘体上硅的另一种22nm soi工艺。该工艺有一个用于n型晶体管的硅沟道和一个用于p型晶体管的应变硅锗沟道。
iedm将从12月10日至12日在希尔顿旧金山联合广场(hilton san francisco union square)召开。
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