18寸晶圆14奈米研发人员 进驻台大竹北分部校区

台大土木系「高科技厂房设施研究中心」研发人员将于5月中旬进驻竹北分部校区***半导体产业及相关产业,预期将在3至5年内进入18寸(450mm)晶圆之量产及14奈米之制程。这种具前瞻性的大幅发展,不但将提升***在国际间的竞争力,促使***其他产业技术之升级,增益***地区的经济成长,同时,也将使***拥有更卓越领先的国际科技地位,甚至成为许多国家仿效的基准楷模。
由于厂房设施的设计建造,也是半导体晶圆制造不可或缺的先决条件之一,为了从厂房设施的角度,协助***半导体产业及相关产业提升到18寸晶圆之量产及14奈米之制程,***大学土木系「高科技厂房设施研究中心」,特在台大竹北分部成立18寸晶圆14奈米研发团队。首批研发人员将于5月中旬进驻,展开研发实验工作。
进驻之18寸晶圆14奈米研发人员,将针对空气分子污染(airbornemolecularcontamination,amc)、微振动(microvibration)、电磁波干扰(electro-magneticinterference,emi)、绿厂房(greenfab)、厂房资讯模型及模拟(fabinformationmodeling,fim)等等先进关键技术深入研究探讨。
台大竹北分部的18寸晶圆14奈米研发团队系跨领域的组合,成员将包括来自机械、土木、电机、环工、化工、工业工程、化学、物理、材料、生物,药剂等等不同院系之教授、学者、专家及博硕士研究生。这个研发团队将由台大土木系张陆满教授(如下图,翻摄自台大土木系网页)负责整合协调。
张陆满教授系新竹湖口张六和宗族之子孙。在1974到1977年间服务于工研院,曾负责工研院头重埔中兴院区的规划监造,并是当年第一批被工研院派赴美国rca公司取经的30多位人士之一,吸取建厂经验后,返回协助电子研究中心设计建造***第一座积体电路示范工厂。尔后,张教授即赴美深造,并曾先后在美国佛罗里达大学的建筑学院营建系任教2年半及普渡大学土木工程系营建工程管理组任教23年。

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