白光干涉仪有什么应用？
白光干涉仪也叫光学3d表面轮廓仪，其基于白光干涉原理，以3d非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；
几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。
白光干涉仪是以白光干涉技术为原理、结合精密z向扫描模块、3d 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3d图像，通过系统软件对器件表面3d图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2d、3d参数，从而实现器件表面形貌3d测量的光学检测仪器。
可在半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据iso/asme/eur/gbt四大国内外标准共计300余种2d、3d参数作为评价标准。
白光干涉仪有什么应用？白光干涉仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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可在半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据iso/asme/eur/gbt四大国内外标准共计300余种2d、3d参数作为评价标准。
白光干涉仪有什么应用？白光干涉仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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