ASML第二代EUV光刻机跳票三年,售价恐贵出天际

第二代euv光刻机原本预计最快可以2023年问世,但最新传闻称nxe:5000系列跳票,而且一下子就跳票三年,要到2025-2026年才有可能问世了。
要知道,asml是全球唯一一家量产euv光刻机的。台积电、三星、intel的7nm、5nm,以及未来的3nm、2nm都要依赖euv光刻机,单台售价超过1亿美元,成本极高。
目前,asml的euv光刻机使用的还是第一代,euv光源波长在13.5nm左右,物镜的na数值孔径是0.33,发展了一系列型号。
其中,最早量产出厂的是nxe:3400b,其产能有限,一小时生产晶圆是125pwh;目前的出货主力是nxe:3400c,产能提升到了135wph;今年年底还有nxe:3600d系列出货,产能再进一步提升到160wph,不过价格也会上涨到1.45亿美元。
现在第一代的euv光刻机na指标太低,第二代euv光刻机会是nxe:5000系列,其物镜的na将提升到0.55,进一步提高光刻精度,半导体工艺突破1nm工艺就要靠下一代光刻机了。
然而,na 0.55的二代euv光刻机没那么容易,现在一下子就跳票三年,要到2025-2026年才有可能问世,这对芯片产业的发展速度无疑是个打击。
不仅时间延期,二代euv光刻机的价格也会大涨,预计将会达到3亿美元,是现有euv光刻机的2-3倍。这意味着,未来的芯片工艺成本极其昂贵,哪怕真能做到1nm工艺,那高昂的成本也会让大多数公司退而却步。
如果照此发展下去,估计1nm工艺的大客户就剩下苹果自己了。
fqj

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