联讯仪器pxie源测量单元(smu)集成高精度源和测量单元,可利用pxie源测量单元构建高密度并行测试系统,以满足大规模半导体集成电路的高通道密度,并增加配置的灵活性,最大化测试效率,降低测试成本。
联讯仪器pxie smu基于先进的数字控制技术,集成的adaptive pfc(precision-fast control)系统使用户可根据负载特性,调整相关参数来获得精确、快速的输出特性, 即使在高容性负载情况下,也可最小化过冲和振荡。
1
主要特点
01
高电压高精度测量
s2013c 支持200v/1a直流/3a脉冲,分辨率100fa/100nv,电压精度100μv,电流精度200pa
02
adaptive pfc系统
用户可利用adaptive pfc(precise-fast control)系统,用户可根据负载特性,调整相关参数,获得更精确,快速的输出特性
03
高速测量s2013c 最高可支持1m的采样率,nplc和采样率可根据需要设定,以满足高速高精度的测量场景
2
adaptive pfc系统
smu采用闭环反馈控制,以确保源的输出精确的加在负载上。实际使用中,对于不同的负载,要获得理想的响应,源表的输出特性需要可配置,然而传统的smu使用模拟硬件来实现控制循环,负载会直接影响用于调节输出电压或电流的控制循环。因此传统的模拟架构很难实现既快又没有过冲,设计刚好能为不同负载提供理想响应的电路几乎不现实。
联讯pxie源表采用数字控制系统, 集成的adaptive pfc(precise-fast control)系统,可通过软件优化控制循环,从而实现对不同负载的响应进行优化。该技术能够提供最佳响应时间,缩短测试时间,并且消除振荡,提高测试的稳定性。
通过数字闭环控制调节输出特性
调整前输出特性 调整后输出特性
3
pxie源测量单元在晶圆测试中的应用
晶圆(wafer)制作完成之后,成千上万的裸die规则的分布满整个wafer,芯片的管脚全部裸露在外,通过探针将裸露的芯片与源测试单元相连,进行各项电性能参数的表征。
联讯仪器pxie源表支持标准pxie机箱,用户可根据需求配置不同槽位的机箱,将pxie源表安装在机箱中,从而实现多路的并行测试,提高测试效率!
s2012c在cp(chip probing)测试中的应用
4
联讯源表系列
联讯仪器可提供台式源表(带主机和触摸屏)以及pxie 插卡式源表(支持标准pxie机箱),用户可根据需求灵活选择。
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