GaN功率电子器件的技术路线
目前世界范围内围绕着gan功率电子器件的研发工作主要分为两大技术路线，一是在自支撑gan衬底上制作垂直导通型器件的技术路线，另一是在si衬底上制作平面导通型器件的技术路线。gan基垂直和平面导通型器件的结构简图如图表2所示。
(a)垂直导通型ganmosfet
(b)平面导通型ganmosfet
图表2基于gan自支撑衬底的垂直导通型mosfet 和基于si衬底的平面导通型ganmosfet的结构图
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