1958年9月18日,是个伟大的日子。ti的杰克·基尔比(jack·kilby)用临时借来的设备,构想并制造出了第一块电子电路板,这是现代集成电路的雏形。随后集成电路迅猛发展,从纸板大小的雏形缩小成指甲盖大小的芯片。或许杰克·基尔比也没有想到在现代,人们已经可以将微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等集成在一片小小的芯片中,并且被广泛的应用于汽车、手机和智能家居等各个领域中。
而集成电路种一个重要的成员便是mems传感器,近年来,除了在智能手机上,mems传感器在vr/ar,可穿戴设备、无人驾驶、智能家居等领域均有着广泛的应用,因此,mems传感器市场前景也是相当的好,根据麦姆斯咨询的预测,2023年的mems、传感器和执行器全球市场将达到820亿美元。
在我国,mems传感器商业化约有10年的历史,发展比较晚,而面对如此广阔的市场,国内厂商一定不会“坐视不管”,与非网小编就和大家侃侃国内的mems传感器厂商们。
mems传感器主流的有三大类,分别是mems压力传感器、mems麦克风和惯性mems传感器。当然还有一些市场规模较小的比如mems环境传感器、mems气体传感器等等,这边就不多做赘述。
mems压力传感器
得益于汽车和消费类市场应用的增长,mems压力传感器的市场也在不断扩张,有趣的是,尽管压力传感器是最“古老”的mems技术之一,但仍能保持市场增长。在汽车领域,压力传感器应用最多,mems压力传感器具有许多优势,例如无惧有害废气和恶劣的行车环境,更高的精度等等。对于消费类市场,移动设备和智能手机仍然占据着90%的市场营收,并且,相对于尺寸缩小,降低成本更为重要,因为其尺寸已经很小了。尽管在可预计的未来,还不会出现有力的杀手级应用,但是,新应用正在兴起:智能家居、电子烟、无人机以及可穿戴设备等。
国内mems压力传感器厂商有:昆山双桥、苏州敏芯微、北京青鸟元芯、无锡纳微电子等等。
双桥公司是国内最早开发mems技术压力传感器研究的几个单位之一,是国内较少的几个坚持从mems力敏芯片的设计、制造做起,具有自主知识产权。主要产品有:高精度通用压阻压力传感器、液位传感器和高难度特殊压力传感器。
苏州敏芯微在压力传感器和麦克风产业均有布局,敏芯微依托自身mems麦克风成熟的mems产业链,完成了从10 kpa到5 mpa的压力芯片布局,主要产品有:高度计(气压计)芯片、数字胎压计芯片、血压计传感器。
北京青鸟元芯是我国唯一实现批量化大规模生产压力传感器的公司,青鸟元芯在推出产品的同时,也推出了技术解决方案,技术支持反应快速,产品具有一定优势。主要产品有:微型湿度传感器及模块、mems压力传感器芯片、mems压力传感器、加速度传感器及相关传感器模块和解决方案。
无锡纳微电子是一家集开发,设计,生产,销售为一体的专业生产企业,主要产品有:压力传感器,压力变送器,压力传感器芯片等。
mems麦克风
mems麦克风长期以来一直备受关注,是近五年来所有mems产品中复合年增长率最高的器件之一。2008年,mems麦克风的市场规模约为1.05亿美元,2012年增长至4.02亿美元,2016年更是达到了10亿美元里程碑。现在,mems麦克风的年出货量已经达到了45亿颗。
国内主要mems麦克风厂商有:瑞声科技、歌尔声学、无锡芯奥微、山东共达电声。
瑞声科技从1993年开始至今,掌握了电声元器件的设计和制造的领先技术,积累了丰富经验。瑞声的mems制造集设计、封装测试于一身,是国内最大的mems麦克风厂商。主要产品有:mems麦克风、触控反馈解决方案、光学解决方案等。
歌尔声学依靠打入苹果供应链取得了成功,在2015年,歌尔声学的70%营收来自苹果,但是“成也苹果,败也苹果”,随着苹果供应链的转移和苹果订单的下滑,歌尔声学必须要拓展更多的客户才行。主要产品:目前歌尔声学的产品已经不局限于mems麦克风,而是围绕智能硬件展开了新一轮的布局。
无锡芯奥微拥有从传感芯片的研发、配套ic的设计、以及自有封装产线等的自主知识产权。公司在美国的硅谷设有技术研发中心。主要产品mems麦克风。
山东共达电声是专业的电声元器件及电声组件制造商和服务商,作为小米和华为的供应商,在去年12月份进行了重组,万魔电声对共达电声进行了吸收合并,并重新上市。主要产品有:微型麦克风、微型扬声器/受话器及其阵列模组。
mems惯性传感器
消费类市场仍是惯性mems器件最大的细分市场,但是价格压力巨大,且竞争非常激烈。在智能手机和平板电脑市场,与小尺寸、低功耗且多功能的组合传感器竞争,对于分立加速度计来说仍很困难。分立加速度计主要在低端智能手机中应用,也可以和组合传感器联合应用,用于管理某些功能(例如,ui旋转/流畅运行)。自动驾驶汽车是陀螺仪航位推算功能的新应用。尽管该领域需要高性能惯性器件,但mems技术仍能分得一杯羹。而自动驾驶应用的lidar(激光雷达)传感器,也将是mems微镜令人兴奋的新兴应用。
国内主要mems惯性传感器厂商:上海深迪、苏州明皜、士兰微。
上海深迪拥有完全自主知识产权的先进的mems工艺和集成技术,专注于为消费电子及汽车电子市场设计和生产低成本、高性价比、低功耗、小尺寸的商用mems陀螺仪芯片。主要产品:mems陀螺仪。
明皜传感主要从事mems传感器的研发、设计和生产,并提供相关技术服务。主要产品有:加速度传感器、陀螺仪、压力传感器和磁传感器
士兰微是国内少有的idm厂商之一,是国内领先的自主综合性半导体厂商。主要产品:mems传感器和分立元件。
总结
国内mems厂商有自己核心技术的不多,很多都是代工厂商,要想在未来mems传感器市场上站稳脚跟,除了拥有核心的技术,多元的客户也是占领市场的重要因素之一,纵观国际mems传感器市场,中国的厂商基本不能挤进前十,未来还有很大的发展空间。
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