季丰电子FEI-Centrios线路修补设备为客户提供高效服务

fei-centrios线路修补设备可以更高效地根据客户需求,完成铝制程及铜制程芯片,市场大部铝制程及铜制程(90nm,55nm,40nm,28nm,14nm,10nm以下)均可以施工。
季丰电子目前一共拥有5台fei-centrios线路修补设备,张江实验室3台fib线路修补设备,深圳实验室2台线路修补设备,为区域及辐射区域客户提供更高效更便捷的支持服务。
fib-ckt
fei-centrios线路修补设备专注于芯片微加工技术,在纳米级线宽的微细加工领域发挥着重要作用,同时也使季丰fa分析服务链更完整。
3.2nm超高分辨率聚焦离子束镜筒,能够更精准无污染的对复杂样品进行加工,支持最小14nm工艺制程;配置高分辨率 ir 显微镜可观察(900 - 1700nm)可以进行高精度的back-side。
局部的线路修改可省略重作光罩和初次试作的研发成本,有效缩短研发到量产的时间,节省大量研发费用。
fib设备的应用:
同层和不同层金属线的切割和连接
通过十字pad或方块pad引出金属线信号进行电性测试
bonding pad 将芯片内部信号通过打线直接引出到封装体上
22nm的金属线的切割和连接
backside-fib切割
ir定位


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