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一文详解MOSFET的导通电阻
对于mosfet,欧姆电阻不仅仅只考虑沟道电阻,对于阻断电压在50v以上的器件中低掺杂中间区域的电阻起到决定作用。
mosfet中电流通路和电阻
分析内阻的功率vd-mosfet结构电流图
ron= rcs +rn++rch+ra+rjfet+rd+rsub+rcd
1)源接触电阻rcs:n+源区与源电极(s)之间的接触电阻;
ρc:元胞结构内每个n+源区的接触电阻;
wc:接触口窗口宽度;
ws:n+源区离子注入窗口宽度;
z:图中横截面垂直方向的元胞长度;
通常采用低势垒的金属接触,比如钛或者钛硅化物来降低特征接触电阻。
2)源区电阻rn+:电流从接触孔进入n+源区到达沟道之前必须沿源区流过;
3)沟道电阻rch:
4)积累电阻ra:
5)jfet电阻rjfet:
6)漂移区电阻rd:
7)n+衬底电阻rsub:
8)漏接触电阻rcd:
通常采用低势垒的金属接触,钛作为接触层,镍作为阻挡层,银层作为焊料层。
vd-mosfet总导通电阻统计:
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