ant rule(antenna rule)天线效应介绍
等离子刻蚀时，暴露在离子束下的金属或poly会积累电荷（就像一根天线一样，收集电荷）而产生电势，积累的电荷与暴露在离子束下金属面积成正比；如果积累了足够电荷的一根长金属线或poly直接连接到mos管的gate上时，就会放电，栅氧会被击穿，导致芯片失效。
在金属互连线的制造过程中会产生大量游离电荷，对于游离电荷来说，一边是二氧化硅绝缘体材料，一边是金属，自然会往金属上聚集，金属像海绵把周围的水吸收进来。当积累的电荷逐渐变多，电势变高，金属就会找地方放电，越长的金属容易收集到更多的电荷，更容易引起天线效应。
antenna ratio（天线比）定义为：构成所谓天线的导体面积与其相连的栅面积之比，比值越大天线效应越容易发生（这个值与工艺有关，常见为300：1），随着工艺尺寸越来越小，天线效应发生的可能越来越高；
消除天线效应的方法：就是要想办法减小antenna ratio；使直接连接到栅的导体面积变小；
1.跳线法
采用跳线法，断开存在天线效应的金属m1，一根长金属m1连接到gate上，收集足够的电荷后，产生的电势超过栅氧承受的击穿电压后，栅氧被击穿
2. 添加天线器件
在存在天线效应的导体上添加反偏的二极管，为积累的电荷提供一个泄放回路，这样积累的电荷就不会对栅氧造成损坏，从而消除天线效应；
3. 插入缓冲器buffer
通过在直接连接到栅的导体上插入缓冲器来切断长线消除天线效应
伦佐-皮亚诺太阳能大桥在热那亚正式投运
Japan Display获得官民基金投资750亿元用于OLED研发
人工智能都在哪些领域有所应用
芯耀辉DDR5/4荣膺硬核中国芯“2023年度最佳IP产品奖”
激光扫描场镜1064nm光纤场镜|YAG半导体场镜
ant rule(antenna rule)天线效应介绍
Drug X跨越鸿沟：一个生物科学家的新药研发跋涉记
MR9830制作的日光灯和节能灯的电子镇流器电路
GB/T4802.3 ICI起毛起球测试仪的工作原理解析
黑的漂亮，6GB运存1399元，360手机N5再出全黑版
DSP控制的UPS逆变器的谐波调节系统失真的消除
led显示屏由哪些部件组成_led显示屏使用方法
iPhone5将支持LTE iPad3明年3月上市
C语言语句的作用和分类
人体检测传感器MB1004的特点及防盗报警系统中的应用
Intel为何不怕AMD抢夺桌面CPU市场？
努比亚Z18手机采用6英寸FHD+无边水滴屏设计，实现了真正的全面屏时代
家庭安全指数怎么样，家庭安防比想象中的重要
TD-LTE网络深度覆盖三个受限因素及四大解决策略
所有公司都需要边缘计算吗
在金属互连线的制造过程中会产生大量游离电荷，对于游离电荷来说，一边是二氧化硅绝缘体材料，一边是金属，自然会往金属上聚集，金属像海绵把周围的水吸收进来。当积累的电荷逐渐变多，电势变高，金属就会找地方放电，越长的金属容易收集到更多的电荷，更容易引起天线效应。
antenna ratio（天线比）定义为：构成所谓天线的导体面积与其相连的栅面积之比，比值越大天线效应越容易发生（这个值与工艺有关，常见为300：1），随着工艺尺寸越来越小，天线效应发生的可能越来越高；
消除天线效应的方法：就是要想办法减小antenna ratio；使直接连接到栅的导体面积变小；
1.跳线法
采用跳线法，断开存在天线效应的金属m1，一根长金属m1连接到gate上，收集足够的电荷后，产生的电势超过栅氧承受的击穿电压后，栅氧被击穿
2. 添加天线器件
在存在天线效应的导体上添加反偏的二极管，为积累的电荷提供一个泄放回路，这样积累的电荷就不会对栅氧造成损坏，从而消除天线效应；
3. 插入缓冲器buffer
通过在直接连接到栅的导体上插入缓冲器来切断长线消除天线效应
伦佐-皮亚诺太阳能大桥在热那亚正式投运
Japan Display获得官民基金投资750亿元用于OLED研发
人工智能都在哪些领域有所应用
芯耀辉DDR5/4荣膺硬核中国芯“2023年度最佳IP产品奖”
激光扫描场镜1064nm光纤场镜|YAG半导体场镜
ant rule(antenna rule)天线效应介绍
Drug X跨越鸿沟：一个生物科学家的新药研发跋涉记
MR9830制作的日光灯和节能灯的电子镇流器电路
GB/T4802.3 ICI起毛起球测试仪的工作原理解析
黑的漂亮，6GB运存1399元，360手机N5再出全黑版
DSP控制的UPS逆变器的谐波调节系统失真的消除
led显示屏由哪些部件组成_led显示屏使用方法
iPhone5将支持LTE iPad3明年3月上市
C语言语句的作用和分类
人体检测传感器MB1004的特点及防盗报警系统中的应用
Intel为何不怕AMD抢夺桌面CPU市场？
努比亚Z18手机采用6英寸FHD+无边水滴屏设计，实现了真正的全面屏时代
家庭安全指数怎么样，家庭安防比想象中的重要
TD-LTE网络深度覆盖三个受限因素及四大解决策略
所有公司都需要边缘计算吗