zpwsmile Steag系统执行CMP后清洁至0.12微米及以下
steag系统执行cmp后清洁，降至0.12微米及以下
munich - steag microtech今天在semicon europa 2000上推出了一种新的清洁工具damasclean。 damasclean damasclean专为200毫米清洁而设计，面向寻求先进加工性能的芯片制造商，以低成本拥有0.12微米及以下的cmp后清洁应用，产品经理juergen lohmueller表示。 steag microtech的单晶圆清洁集团。 “damasclean在β测试期间表现出了强劲的表现，包括无污染，高通量，低水耗和无应力干燥，”他说。
作为独立工具，damasclean平台也可作为oem产品集成到集群工具中。 damasclean采用steag最新的lineagoni技术，具有多种清洁机制，模块化架构，工业标准机器人平台，灵活的工艺流程和单晶片烘干。
根据steag的说法，在独立版本中，damasclean t允许用户选择两步串行或一步并行清洁功能 - 这是业界首创。当与模块化清洁机构和双盒式输入/输出站配合使用时，这些独特的功能开启了广泛的应用。
damasclean以水平方向处理晶圆，允许对晶圆进行独立的上侧和背面处理，并加速晶圆处理。该工具配有两个清洁站和两个lineagoni干燥站。两个清洁站可配备可互换的刷子模块或独特的jet stream/megasonic清洁模块。因此，damasclean可用于刷子清洁以及无刷清洁应用。
lineagoni干燥站是一种先进的单晶片干燥系统。应用表面张力梯度技术，lineagoni可实现单晶圆无旋转和无应力晶圆干燥，晶圆上无任何残留液体。高能量megasonic清洁系统可作为最终清洁步骤的选项集成，使damasclean能够处理低于0.12微米的技术。
steag的lohmeuller表示，通过两个集成的干燥模块，每小时的吞吐量超过60片。
《物联网技术》杂志跻身2020年RCCSE计算机科学技术B+行列
不需要GPS的无人机，你相信吗？
学会嵌入式Linux下I2C的接口调试
3D打印PETG需要注意的几点问题
基于区块链去中心化的应用程序R8网络介绍
zpwsmile Steag系统执行CMP后清洁至0.12微米及以下
2019款iPhone最新消息汇总 到底香不香
直流隔离电源电路图大全（DC/DC/变压销隔离/精密开关电源电路图）
Q4季度阿里云首次实现盈亏平衡，营收同比增长50%
水产品药物残留快速检测仪的用途及性能
电子元器件有哪些检验要求和方法
BOE牵头，数字化艺术品显示系统成为国际标准
M5连接器的环境性能
移动医疗厚积薄发，未来大有作为
邬贺铨:5G的创新需要产业链更广泛的合作
家电节能技术呈现四大趋势
运算放大器的反相放大器电路图介绍
北京移动成立5G产业联盟打造成5G示范之都
无功功率补偿装置作用
曝苹果iPhone 13有望取消Face ID
munich - steag microtech今天在semicon europa 2000上推出了一种新的清洁工具damasclean。 damasclean damasclean专为200毫米清洁而设计，面向寻求先进加工性能的芯片制造商，以低成本拥有0.12微米及以下的cmp后清洁应用，产品经理juergen lohmueller表示。 steag microtech的单晶圆清洁集团。 “damasclean在β测试期间表现出了强劲的表现，包括无污染，高通量，低水耗和无应力干燥，”他说。
作为独立工具，damasclean平台也可作为oem产品集成到集群工具中。 damasclean采用steag最新的lineagoni技术，具有多种清洁机制，模块化架构，工业标准机器人平台，灵活的工艺流程和单晶片烘干。
根据steag的说法，在独立版本中，damasclean t允许用户选择两步串行或一步并行清洁功能 - 这是业界首创。当与模块化清洁机构和双盒式输入/输出站配合使用时，这些独特的功能开启了广泛的应用。
damasclean以水平方向处理晶圆，允许对晶圆进行独立的上侧和背面处理，并加速晶圆处理。该工具配有两个清洁站和两个lineagoni干燥站。两个清洁站可配备可互换的刷子模块或独特的jet stream/megasonic清洁模块。因此，damasclean可用于刷子清洁以及无刷清洁应用。
lineagoni干燥站是一种先进的单晶片干燥系统。应用表面张力梯度技术，lineagoni可实现单晶圆无旋转和无应力晶圆干燥，晶圆上无任何残留液体。高能量megasonic清洁系统可作为最终清洁步骤的选项集成，使damasclean能够处理低于0.12微米的技术。
steag的lohmeuller表示，通过两个集成的干燥模块，每小时的吞吐量超过60片。
《物联网技术》杂志跻身2020年RCCSE计算机科学技术B+行列
不需要GPS的无人机，你相信吗？
学会嵌入式Linux下I2C的接口调试
3D打印PETG需要注意的几点问题
基于区块链去中心化的应用程序R8网络介绍
zpwsmile Steag系统执行CMP后清洁至0.12微米及以下
2019款iPhone最新消息汇总 到底香不香
直流隔离电源电路图大全（DC/DC/变压销隔离/精密开关电源电路图）
Q4季度阿里云首次实现盈亏平衡，营收同比增长50%
水产品药物残留快速检测仪的用途及性能
电子元器件有哪些检验要求和方法
BOE牵头，数字化艺术品显示系统成为国际标准
M5连接器的环境性能
移动医疗厚积薄发，未来大有作为
邬贺铨:5G的创新需要产业链更广泛的合作
家电节能技术呈现四大趋势
运算放大器的反相放大器电路图介绍
北京移动成立5G产业联盟打造成5G示范之都
无功功率补偿装置作用
曝苹果iPhone 13有望取消Face ID