XD107系列压电扫描台概述/特点/应用/参数
xd107系列压电扫描台是一款定制设计的三维运动的压电平台，具有特殊的负载安装孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，适用于样品显微成像/扫描、微纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用。
xd107系列压电扫描台内部采用机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷、无摩擦柔性铰链导向机构，可实现xy向100μm/轴、z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性都可达nm级，定位响应时间也可达ms级。
该压电扫描台可根据应用需求选配闭环传感器，以获取更高的精度。
产品特点
•xyz三维运动
•行程可达100μm
•承载能力0.4kg
•中心通孔50×50mm
产品应用
•扫描显微镜
•掩模/晶圆定位
•干涉、度量衡学
•生物技术
•微操作
引线连接器
xd107系列压电扫描台的连接器共有2组，每组有3个，一组用于电压驱动信号的传输，一组用于传感反馈信号的传输。连接器的配置主要取决于所选配的压电控制器的连接器类型。xd107系列的连接器是为了匹配芯明天e00/e01系列压电控制器（下方右图），若更换其他压电控制器，可更换为其他相应的连接器类型。
电压位移曲线
下图中为xd107系列压电扫描台的xy向的驱动电压与位移曲线。
线性度曲线
技术参数
型号：xd107.xy100z20s
运动方向：x、y、z
标称行程范围（0~120v）：xy80/z64μm
行程范围（0~150v）：xy100/z80μm
传感器类型：sgs
闭环分辨率：3nm
闭环线性度：0.1%f.s.
闭环重复定位精度：z0.02%f.s.
俯仰/偏航/滚动：≤30μrad
空载谐振频率：xy220/z160hz
带载400g谐振频率：xy110/z80hz
承载能力：0.4kg
静电容量：xy3.6/z1.8μf
材质：钢、铝
通孔尺寸：50×50mm
外形尺寸：94×94×24.5mm
重量：420g
应用举例
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