具体的在版图设计中pmos管和nmos管是什么样子的,我们来看看吧~
1、生成版图,版图中会出现pmos管和nmos管。在上一节中,已经做好了反相器的原理图和进行了瞬态仿真。
这时设置好了之后,就会出现layout编辑的界面,如果是重新新建一个就会是一个空白的layout界面,如果是打开原来就有的layout,原先有的器件就会显示。
在原理图中选中全部,也可以选择部分需要的,我现在的目的是想看看pmos管和nmos的结构,以及它有什么层,我就只选择了1个pmos管和1个nmos管
导入到layout中
这时将器件移动到合适的位置,上面的是pmos管,下面的是nmos管。
这时还有lsw,这里表示的是各种层。后面介绍mos管或者设计集成电路的时候再来进行了解。
注意,有的时候导入之后,显示如下的框,这是没有把各个层都显示,需要利用快捷键shif+f把显示层都显示。
这个是双阱cmos工艺的主要流程图,对下面可以进行参考。
2、认识nmos管的各层
认识之前,需要选中nmos管的各层,并将其打散
接下来就可以一层一层的看了,选中一层按q就可以得出是什么属性,是哪一层
外面的紫色的那一层是dg层,dg层是厚氧化层
蓝色的是sn层,n型注入
gt是多晶硅,对应的是栅极
红色的是aa,有源层,有源层是指将来要制作cmos晶体管、电阻、接触电极等的区域
m1为金属1层
绿色为过孔层
总体就是
3、认识pmos管的各层
nv层,为n will层,就是n阱层,主要的目的是在p型的衬底上形成n型区域——n阱,做为pmos的衬底
dg层,和上面一样,dg层是厚氧化层
sp层为p型注入层
当然,这些mos管也可以自己画。
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