压电纳米定位台P60.Z250的特点及应用
p60.z250为一维z向运动压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现z向250μm位移。压电定位台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可达纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。平台可选真空兼容版本，平台中的部件均适合于真空应用，真空度可达1×10^（-5）mbar。
闭环版本定位精度高
p60.z250可以选择开环或闭环版本，闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天闭环压电控制器可实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制及优异线性运动和稳定性。
产品特点
• 一维z向运动
• 行程可达250μm
• 承载可达1kg
• 可选真空兼容版本
应用
• 计量/干涉/ 扫描
• 纳米定位
• 光盘驱动测试
• 半导体技术
• 质量保证测试
• 微加工/精密控制
技术参数
型号：p60.z250
运动自由度：z
标称行程范围（0~120v）：200μm
行程范围（0~150v）：250μm
传感器类型：sgs
闭/开环分辨率：10/3nm
闭环线性度：0.4%f.s.
重复定位精度：0.1%f.s.
空载谐振频率：260hz
承载能力：1kg
静电容量：21.6μf
工作温度范围：-20~80℃
材质：钢、铝
重量（不含线）： 0.4kg
真空度：1×10^（-5）mbar
外形尺寸（长×宽×高）：80×60×20mm
出线长：1.5m
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