tft制造原理与简单制造流程

何谓 tft-lcd? tft-lcd 即是 thin-film transistor liquid-crystal display 的缩写(薄膜电晶体液晶显示器)tft-lcd 如何点 亮? 简单说, tft-lcd 面板可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶, 上层的玻璃基板是与彩色滤光片(color filter) 结合,而下层的玻璃则有电晶体镶嵌于上。 当电流通过电晶体产生电场变化,造成液晶分子偏转,借以改变光线 的偏极性,再利用偏光片决定画素(pixel)的明暗状态。 此外,上层玻璃因与彩色滤光片贴合,形成每个画素(pixel) 各包含红蓝绿三颜色,这些发出红蓝绿色彩的画素便构成了面板上的影像画面。 tft-lcd 的三段主要的制程: 的三段主要的制程: 前段 array 前段的 array 制程与半导体制程相似,但不同的是将薄膜电晶体制作于玻璃上,而非矽晶圆上。 中段 cell 中段的 cell ,是以前段 array 的玻璃为基板,与彩色滤光片的玻璃基板结合,并在两片玻璃基板间灌入液晶 (lc)。 模组组装) 后段 module assembly (模组组装 模组组装 后段模组组装制程是将 cell 制程后的玻璃与其他如背光板、电路、外框等多种零组件组装的生产作业。
tft-lcd主要的三段制程: 首先是前段array
前段部分的array 制程和半导体制程相似,但是不同的是将薄膜电晶体制作在玻璃之上,而不是矽晶圆上面。
然后是中段cell
中段部分的cell ,是以前段的array玻璃作为基板,和彩色的滤光片玻璃基板相结合,并且在两片玻璃基板之间灌入液晶(lc)。
最后是后段module assembly (模组组装)
后段模组的组装制程则是将cell制程之后的玻璃和其他的如电路、外框、背光板等等多种零组件组装生产的作业。
1.阵列制程(array) 1)一片表面光滑,没有任何杂质的玻璃,是制造tft玻璃基板最主要的原料。在制作之前,需用特殊的冼净液,将玻璃洗得干干净净,然后脱水,甩干。
2)要使玻璃基板镀上金属薄膜,需先将金属材料放在真空室内,让金属上面的特殊气体产生电浆后,金属上的原子就会被撞向玻璃,然后就形成一层层的金属薄膜了。
3)镀完金属膜后,我们还要镀上一层不导电层与半导电层,在真空室内,先将玻璃板加温,然后由高压电的喷洒器喷洒特殊气体,让电子与气体产生电浆,经过化学反应后,玻璃上就形成了不导电层与半导体层。
4)薄膜形成后,我们要在玻璃上制作电晶体的图案。首先,要进入黄光室喷上感光极强的光阻液,然后套上光罩照射蓝紫光进行曝光,最后送到显影区喷洒显影液,这样可以去除照光后的光阻,还可以让光阻层定型哦。
5)光阻定型后,我们可用蚀刻进行湿式蚀刻,将没有用的薄膜露出,也可用电浆的化学反应进行干式蚀刻,蚀刻后再将留下的光阻以溜液去除,最后就产生电晶体所需要的电路图案了。
6)要形成可用的薄膜电晶体,需要重复清洗,镀膜,上光阻,曝光,显影,蚀刻,去光阻等过程,一般来说,要制造tft-lcd,就要重复5到7次。
2.组立制程(cell) 1)完成薄膜电晶体玻璃基板后,我们就要进行液晶面板的组合了,液晶面板是由电晶体玻璃基板与彩色滤光片组合而成,首先,我们要先将玻璃洗干净,再进行下一个步骤。tft-lcd的整个制造过程都必须在无尘室内,这样才不会有杂质在显示器里面。
2)彩色滤光片是以化学涂布的方式,在玻璃上形成红、绿、蓝的颜色,整齐排列后再覆盖一层会导电的薄膜即完成。
3)在整个组合的过程中,首先我们要为布满电晶体的玻璃和彩色滤光片涂上一层化学薄膜,然后再进行配向的动作。
4)在组合二片玻璃板之前,我们要先平均布满类似球状的隙子固定间隔,以免液晶面板组合后,二片玻璃向内凹曲。通常液晶面板在组合时,会留下一个或二个缺口,以利后续灌入液晶,接着就以框胶及导电胶封在二片玻璃边缘,如此就完成玻璃的组合了。
5)封完边框之后,就将液晶面板放到真空室,透过刚才预留的缺口把液晶面板的空气抽掉,然后籍助大气压力灌入液晶,再将缺口封闭,而液晶是一种介于固体和液体之间的化合物质,具有规则分子排列的特性。
6)最后再贴上二片垂直方向的偏光片,整片液晶面板即算完成。
3.模组制程(module) 1)偏光片贴附完成后,我们即开始在液晶面板的两侧搭载drive ic,drive ic是很重要的驱动零件,是用来控制液晶颜色,亮度开关的。
2)然后再将drive ic 的入力端与电路板藉着焊锡焊接导通。这样讯号就可以顺利发出,然后控制面板上的影像了。
3)液晶面板的光线就是从背光源发出来的,在组装背光源之前,我们会先检查组合完的液晶面板有无完善,然后再组装背光源,背光源就是液晶面板后的光线来源。
4)最后,再将cell与铁框以螺丝锁定。
5)再来就进入了最后关键的测试过程,将组立完成的module做老化测试,在通电及高温状态,筛选出品质不良的产品。
6)品质最优的产品,就可以包装出货了。
这样,液晶面板经过许多检验测试的程序,才能把最完美的产品交给客户,这样才算是真正的完成整个液晶显示器的制作过程。

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