Entegris新推出Integra堰式阀,流量效能更出色
顶尖的特用材料供应商entegris，在semicon taiwan展会期间发表多项产品。 inc. （nasdaq:entg）发表其最近推出的integra plus ws（堰式阀）高流量流体管理阀的效能资料。
这些阀是在2017年7月推出，系针对半导体制程应用中的腐蚀性化学品所设计。entegris 在 2017 年 6 月经过大量测试后收集到这些资料，资料显示其流体效能比竞争对手适用于超纯度大量化学品和 cmp 研磨液应用的阀高出 70%。
entegris高阶材料处理部资深副总兼总经理bill shaner表示：在半导体制造持续扩大，化学品输送系统的需求也随著化学品纯度、高可靠度、满足大型设施较高流量的需求而有所演变。我们已验证新阀的流量效能，结果相当令人满意。
新的integra plus ws阀采用更为精简的流体流动路径，流量效能更为出色。新阀的流速测试出现优异的结果，优于其它替代的阀解决方案。新阀采用创新、单件且免黏著剂的隔膜设计，可直接将隔膜黏附在阀体做动器上，为真空应用省下隔膜分离，提高阀的使用寿命。
这些阀采用高纯度、可耐受化学品的 pfa 与 ptfe 材料，可维持化学品的纯度，加上体积缩小，使得设备内部所需的空间变小。integra plus ws阀提供primelock、flaretek和purebond导管接口接头。一个接口可使用primelock或flaretek，另一接口可使用 purebond的特殊型态，让系统拥有更高弹性，并可轻易安装到任何流体处理系统内。
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