光学薄膜之真空溅射镀膜技术详解
表面技术工程 是将材料表面与基体-起作.为一个系统进行设计，利用表面改性技术，薄膜技术和涂层技术，使材料表面获得材料本身没有而又希望具有的性能的系统工程。薄膜技术是表面工程三大技术之一。 一般把小于25um大于100nm的膜层称为薄膜，大于25um的膜层称为厚膜。小于100nm的膜层称为纳米薄膜。
真空镀膜是薄膜技术的最具潜力的手段，也是纳米技术的主要支撑技术。所谓纳米技术，如果离开了真空镀膜，它将会失去半壁江山。
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