真空传感器结构_真空传感器的工作原理
真空传感器结构
真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片（ 上电极） 、上层密封用的玻璃组成， 其中下电极溅射在玻璃衬底上， 电极上生长一绝缘层； 硅膜是利用硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐蚀技术形成的。该电容式真空传感器有两个腔体， 其中上面的腔体是一个真空腔， 下面的腔体是键合形成的， 这个腔体不是密封的， 腔内气体与外界气体相通。电容器的两平板间的距离可由硅片腐蚀的深度控制， 硅膜片与玻璃电极之间的间隙很小， 这也是硅电容式传感器灵敏度高的原因。
真空传感器特征特征 真空传感器其特征在于设有硅尖阵列发射阴极、金属阳极、玻璃衬底、发射腔体和电极引线，金属阳极溅射在玻璃衬底上，硅尖阵列发射阴极刻蚀在硅片上，刻蚀有硅尖阵列发射阴极的硅片与溅射有金属阳极的玻璃衬底键合在一起形成发射腔体，1对电极引线分别接硅尖阵列发射阴极和金属阳极，电极引线分别由硅片和阳极金属引出外接稳压。
真空传感器的工作原理 真空度是指低于大气压力的气体的稀薄程度，通常以压力来表示真空度，压力高意味着真空度低，压力低意味着真空度高。由于真空传感器上面的腔体是真空腔体，在大气压力下，作为传感器敏感元件的硅膜片在压力的作用下会向上鼓起。当真空传感器下面腔体内的真空度不同时，硅膜片向上鼓起的程度就不同，硅膜片向上鼓起使得电容两极板之间的距离发生变化，根据平板电容的公式可知电容也随之发生化，真空度与电容值是对应的，电容值随着真空度的变化而变化。由于电容值与真空度的关系，电容值的变化通过测量电路转换为电压或频率信号，检测电压或频率信号可以得到对应的真空度。
智能人脸识别闸机实现智能生活的新方式
智芯传感全力推动高端压力传感器国产化进程
Altera、Lattice、Xilinx角逐低成本FPGA市场
人工智能浪潮下零售业的智慧化转型
苹果计划将 LTPO 应用于明年四款新 iPhone 中的两款顶级机型
真空传感器结构_真空传感器的工作原理
微波射频公司有哪些？
华为2021开发者大会最新消息，HMS Core6发布打造全场景万物智联
陶瓷滤波器介绍及测试方法
码垛机器人相比于人工的优势是什么
6g技术将迎来众多创新和突破
面向Wi-Fi 6GHz领域的自动频率协调技术
美国正在考虑利用区块链来追踪食品供应链来加强食品安全
区块链可以帮助我们退休以后有更多的存储吗
北京智行者科技有限公司宣布完成数亿人民币的投资
荣耀EMUI10升级计划公布 最早10月下旬开启公测
飞腾CPU正式被国家博物馆收录
无人机用于油菜病虫害防治作业中的应用介绍
STM32看门狗WWDG和IWDG的区别是什么
诺基亚贝尔：云网时代，如何引领B2B科技创新？
真空传感器特征特征 真空传感器其特征在于设有硅尖阵列发射阴极、金属阳极、玻璃衬底、发射腔体和电极引线，金属阳极溅射在玻璃衬底上，硅尖阵列发射阴极刻蚀在硅片上，刻蚀有硅尖阵列发射阴极的硅片与溅射有金属阳极的玻璃衬底键合在一起形成发射腔体，1对电极引线分别接硅尖阵列发射阴极和金属阳极，电极引线分别由硅片和阳极金属引出外接稳压。
真空传感器的工作原理 真空度是指低于大气压力的气体的稀薄程度，通常以压力来表示真空度，压力高意味着真空度低，压力低意味着真空度高。由于真空传感器上面的腔体是真空腔体，在大气压力下，作为传感器敏感元件的硅膜片在压力的作用下会向上鼓起。当真空传感器下面腔体内的真空度不同时，硅膜片向上鼓起的程度就不同，硅膜片向上鼓起使得电容两极板之间的距离发生变化，根据平板电容的公式可知电容也随之发生化，真空度与电容值是对应的，电容值随着真空度的变化而变化。由于电容值与真空度的关系，电容值的变化通过测量电路转换为电压或频率信号，检测电压或频率信号可以得到对应的真空度。
智能人脸识别闸机实现智能生活的新方式
智芯传感全力推动高端压力传感器国产化进程
Altera、Lattice、Xilinx角逐低成本FPGA市场
人工智能浪潮下零售业的智慧化转型
苹果计划将 LTPO 应用于明年四款新 iPhone 中的两款顶级机型
真空传感器结构_真空传感器的工作原理
微波射频公司有哪些？
华为2021开发者大会最新消息，HMS Core6发布打造全场景万物智联
陶瓷滤波器介绍及测试方法
码垛机器人相比于人工的优势是什么
6g技术将迎来众多创新和突破
面向Wi-Fi 6GHz领域的自动频率协调技术
美国正在考虑利用区块链来追踪食品供应链来加强食品安全
区块链可以帮助我们退休以后有更多的存储吗
北京智行者科技有限公司宣布完成数亿人民币的投资
荣耀EMUI10升级计划公布 最早10月下旬开启公测
飞腾CPU正式被国家博物馆收录
无人机用于油菜病虫害防治作业中的应用介绍
STM32看门狗WWDG和IWDG的区别是什么
诺基亚贝尔：云网时代，如何引领B2B科技创新？