牺牲层技术大致包含哪几个步骤
牺牲层技术自20世纪80 年代美国加州大学伯克利分校开发至今，得到了快速发展。牺牲层技术是 mems 工艺设计中有别于传统ic制造工艺技术之一，该技术利用一层可被腐蚀或刻蚀的薄膜材料作为结构层和衬底之间的中间层(称为牺牲层），待结构层图形化后，再使用湿法刻蚀或干法刻蚀去除中间层材料（称为牺牲层材料），获得可动微结构或悬空微结构。
可动微结构或悬空微结构是 mems 中大部分传感器和执行器的不可或缺的敏感元件和执行元件（如微型压力传感器、微型陀螺、微型加速度计和微型马达等），因此牺牲层技术在未来新型 mems 器件的创新和制造中将会扮演更重要的角色。常用的牺牲层材料主要有多晶硅、光刻胶、金属薄膜和聚酰亚胺等。牺牲层技术大致包含如下5个步骤：
①在衬底上沉积一层牺牲层；
②刻蚀牺牲层，做出结构层的支撑点；
③在牺牲层上沉积结构层；
④图形化结构层；
⑤用湿法刻蚀或干法刻蚀去除牺牲层，释放图形化的结构层，获得可动微结构或空腔。
牺牲层技术常常采用湿法刻蚀来释放图形化的结构层，原因在于其刻蚀速率快，设备简单，选择性好。但湿法刻蚀去除牺牲层后，需要蒸发溶液和干燥晶片，在此过程中容易发生微结构变形和黏附，随着液体被蒸发，微结构和衬底之间的液体去除缓慢，液体和空气的界面处产生较大的表面张力，其作用力的垂直分力会牵引微结构向衬底靠近，使得微结构变形，甚至会出现微结构与衬底接触，并在接触面的范德瓦尔斯力（van der waals force）作用下发生黏附，导致器件失效。针对湿法释放后干燥带来的黏附失效，现已开发了有效的解决方法，如超临界干燥技术和干法刻蚀技术。
在多米诺骨牌中嵌入冰箱是啥样？2天后，来央视看结果
三星于明年的旗舰机Galaxy S10上首次采用屏下指纹方案
InfoComm China展会上多款产品首次亮相，吸睛无数，惊喜不断
Raychem瑞侃特种热缩管特点
指引电子产业新蓝海 高交会电子展即将开幕
牺牲层技术大致包含哪几个步骤
北京联通和华为荣获GSMA GLOMO“5G产业合作伙伴奖”
苹果客服回应iPhone到哈尔滨掉电快
中国卫通正式为中央广播电视总台CCTV-1等17套频道提供直播卫星高清传输服务
vivoAPEX2019评测 呈现了超前的视觉感官及使用体验
TI杯2022年省级大学生电子设计竞赛7月联赛参考赛题已发布
电子产品中气压传感器的主要作用
RISE-6G使可编程控制和整形无线传播环境成为可能
拼多多百亿补贴上架华为Mate40 Pro
霍尼韦尔携手SLM合作，共同降低生产3D打印飞机部件的成本
一连双发 《兆芯&统信软件生态联合解决方案》迎来全新升级
上位机软件是什么
机器人区分三明治成分 技术水平将更加智能
在Vivado中怎么定制Strategy
AM无线电的工作原理
可动微结构或悬空微结构是 mems 中大部分传感器和执行器的不可或缺的敏感元件和执行元件（如微型压力传感器、微型陀螺、微型加速度计和微型马达等），因此牺牲层技术在未来新型 mems 器件的创新和制造中将会扮演更重要的角色。常用的牺牲层材料主要有多晶硅、光刻胶、金属薄膜和聚酰亚胺等。牺牲层技术大致包含如下5个步骤：
①在衬底上沉积一层牺牲层；
②刻蚀牺牲层，做出结构层的支撑点；
③在牺牲层上沉积结构层；
④图形化结构层；
⑤用湿法刻蚀或干法刻蚀去除牺牲层，释放图形化的结构层，获得可动微结构或空腔。
牺牲层技术常常采用湿法刻蚀来释放图形化的结构层，原因在于其刻蚀速率快，设备简单，选择性好。但湿法刻蚀去除牺牲层后，需要蒸发溶液和干燥晶片，在此过程中容易发生微结构变形和黏附，随着液体被蒸发，微结构和衬底之间的液体去除缓慢，液体和空气的界面处产生较大的表面张力，其作用力的垂直分力会牵引微结构向衬底靠近，使得微结构变形，甚至会出现微结构与衬底接触，并在接触面的范德瓦尔斯力（van der waals force）作用下发生黏附，导致器件失效。针对湿法释放后干燥带来的黏附失效，现已开发了有效的解决方法，如超临界干燥技术和干法刻蚀技术。
在多米诺骨牌中嵌入冰箱是啥样？2天后，来央视看结果
三星于明年的旗舰机Galaxy S10上首次采用屏下指纹方案
InfoComm China展会上多款产品首次亮相，吸睛无数，惊喜不断
Raychem瑞侃特种热缩管特点
指引电子产业新蓝海 高交会电子展即将开幕
牺牲层技术大致包含哪几个步骤
北京联通和华为荣获GSMA GLOMO“5G产业合作伙伴奖”
苹果客服回应iPhone到哈尔滨掉电快
中国卫通正式为中央广播电视总台CCTV-1等17套频道提供直播卫星高清传输服务
vivoAPEX2019评测 呈现了超前的视觉感官及使用体验
TI杯2022年省级大学生电子设计竞赛7月联赛参考赛题已发布
电子产品中气压传感器的主要作用
RISE-6G使可编程控制和整形无线传播环境成为可能
拼多多百亿补贴上架华为Mate40 Pro
霍尼韦尔携手SLM合作，共同降低生产3D打印飞机部件的成本
一连双发 《兆芯&统信软件生态联合解决方案》迎来全新升级
上位机软件是什么
机器人区分三明治成分 技术水平将更加智能
在Vivado中怎么定制Strategy
AM无线电的工作原理